ATM WAFER TRANSFER ROBOT REPAIR · JAPAN

日本国内で、安川・川崎製ATMロボットを精密に。Precision Repair for Yaskawa and KawasakiATM Robots in Japan.

半導体製造装置用ATMウェハ搬送ロボットの診断・修理・O/Hを、日本国内で対応し、海外輸送負担と設備停止時間の低減を支援します。Japan-based diagnosis, repair, and overhaul for ATM wafer-transfer robots,reducing overseas logistics burden and production downtime.

一覧にない型式も、型式・仕様・故障状況を確認のうえ個別にご案内します。Unlisted models can also be reviewed based on model, specification, and failure details.

Sniffingモードによるウェハ搬送動作Sniffing-mode wafer transfer operation
日本国内修理Japan-based Service八王子の修理拠点Repair base in Hachioji
Yaskawa / KawasakiATMロボット対応ATM robot support
フルO/H・部品対応Full O/H & Parts分解・点検・交換・再組立Disassemble, inspect, replace, reassemble
動作・精度確認Functional Verification繰り返し精度測定Repeatability measurement

CORE SERVICES

必要な技術サービスを、明確に。Clear, focused technical services.

修理だけでなく、診断、部品、現地支援、トレーニングまで、設備状況に応じてご案内します。From diagnosis and repair to parts, onsite support, and training, services are reviewed according to your equipment condition.

サービス一覧View Services

ATMロボット修理・O/HATM Robot Repair & Overhaul

故障症状の確認から分解、部品点検、交換、再組立、調整まで対応します。Inspection, disassembly, parts review, replacement, reassembly, and adjustment.

詳細を見るDetails

動作検査・精度測定Functional & Precision Testing

修理内容に応じた動作検査と、必要に応じた繰り返し精度測定を行います。Functional testing and repeatability measurement are applied according to repair scope.

品質管理を見るQuality Assurance

現地支援・トレーニングOn-site Support & Training

現場状況とご要望を確認し、技術支援およびトレーニングをご提案します。On-site technical support and training are proposed after reviewing requirements.

相談するContact Us

ACTUAL ROBOT PHOTOGRAPHS

実機写真で分かりやすく。Real equipment, clearly presented.

掲載写真は代表イメージです。型式ごとの形状・仕様は、モデル詳細とお問い合わせで確認します。Photos are representative images. Model-specific configuration is confirmed during evaluation.

YASKAWA ROBOTS

安川ロボットYaskawa Robots

Yaskawa cylindrical ATM wafer transfer robot

円筒型ATMロボットCylindrical ATM Robot

安川電機製を含む対応型式は、対応機種一覧から検索できます。Search supported models, including selected Yaskawa units, in the model list.

安川製モデルを見るView Yaskawa Models
Yaskawa trackless ATM wafer transfer robot

トラックレス型ATMロボットTrackless ATM Robot

安川電機製のトラックレス型を含む対応機種は、対応機種一覧から検索できます。Search supported models, including Yaskawa trackless units, in the model list.

安川製モデルを見るView Yaskawa Models

KAWASAKI ROBOTS

川崎ロボットKawasaki Robots

Kawasaki NT410 ATM wafer transfer robot

川崎製ATMロボット NT410Kawasaki ATM Robot NT410

川崎製ATMロボットの対応型式は、対応機種一覧から検索できます。Search supported Kawasaki ATM robot models in the model list.

川崎製モデルを見るView Kawasaki Models
Kawasaki NT520 ATM wafer transfer robot

川崎製ATMロボット NT520Kawasaki ATM Robot NT520

掲載写真は代表例です。型式・コントローラー・仕様を確認のうえ個別にご案内します。This is a representative image. Support is reviewed by model, controller, and specification.

川崎製モデルを見るView Kawasaki Models

型式が一覧に見つからない場合Model not listed?

型式、仕様、アラームコード、故障症状をご連絡ください。個別に確認します。Send the model, specifications, alarm code, and failure details for individual evaluation.

一覧外型式を相談Evaluate an Unlisted Model